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扫描式电子显微镜
华南理工大学
德国蔡司，EVO18,*
广东省
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检测范围

用于材料微观形貌观察及成分分析

仪器参数

分辨率：二次电子像3 nm/30kv，背散射电子像4.5 nm/30kv；
放大倍率：5倍 ~ 1,000,000倍；加速电压：0.2 kV ～ 30 kV；
附英国牛津能谱仪（X-Max20电制冷型，探测器活性面积≥20 mm2，
分辨率≥129 eV）
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