纳米定位系统
华南理工大学
德国PI有限公司,EUR47000 *
广东省
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仪器参数

1) 微驱动平台X/Y/Z最大行程100?m,3.4mrad,重复定位精度25nm,闭环/开环分辨率2/1 nm,最大载荷+15/-5N;
2) 宏驱动行程25mm,定位精度2.5?m,最大速度1.5mm/s,最大载荷200N;
3) 低压压电陶瓷:行程45?m,推/拉力1000/50N,电压0-100V;
4) 高压压电陶瓷:行程60?m,推/拉力4500/500N,最大电压-1000V;
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