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扫描电子显微镜
华南理工大学
ZEISS，EEIMA15,*
广东省
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检测范围

以能量为1-30KV间的电子束，以光栅状扫描方式照射到被分析试样的表面上，利用入射电子和试样表面物质相互作用所产生的二次电子和背散射电子成像，获得试样表面围观组织结构和形貌信息，可以获得纳米级别分辨率的图像。该仪器将不用于样品材料分析，而是利用其纳米级图像成像

仪器参数

1）  高真空二次电子像：优于3nm @30kV，优于10nm @3kV。
2）  低真空背散射电子像：优于4.5nm @30kV。
3） 放大倍数：范围5X～1,000,000X
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