高真空磁控溅射系统-测试100仪器共享平台

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高真空磁控溅射系统
所在单位：	华南理工大学
品牌/型号：	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司，JGP-560b,*
所在地区：	广东省
仪器说明：	我们目前尚未与华南理工大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

所有仪器

制备各种薄膜材料

溅射极限真空≤5E-6Pa;系统漏率：5E-7Pa.l/S

发表多篇SCI论文，如：Growth of β-FeSi2 thin film
on textured silicon substrate
for solar cell application

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