仪器参数
扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描
最大样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚度15mm。针尖扫描：样品无限制
XY样品定位装置：移动范围5×5um，精度5um
扫描范围：90×90×9um（带传感器/闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨
XY方向非线性度：≤0.5%（带传感器/闭环控制）
Z方向噪音水平（带宽1000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型值0.04nm，最大0.06nm）
光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升至1um
样品温度控制：室温~300℃
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