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磁控溅射系统
华南理工大学
韩国，RSP-5006 *
广东省
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仪器参数

- Purpose: Thickness Uniformity
    - Test Material: Ga2O3, In2O3, ZnO, IGZO, (Al2Ox, SiOx, SiNx)
    - Base Pressure: : 1E-4 Pa
    - Measurement Point: 9 Points at 200 x 200 mm Glass & 100 x 100 mm Glass (9 Points at  any position on glass)
Judgment
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