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快速退火炉
华南理工大学
ALLwin21corp，AW810 *
广东省
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仪器参数

★3.1.1 退火样片尺寸：200mm×200mm（方形玻璃基板）；
★3.1.2 稳定温度控制范围：400℃～1150℃；
★3.1.3 升温速度：10～100℃/sec(可编程)；
★3.1.4 降温速率：10～60℃/sec(可编程)；
3.1.5 温度控制精确度：±5℃；
3.1.6 能在真空（真空度
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