检测范围
为物体的表面结构成像，具有分辨率较高，可方便快捷地进行高真空模式与低真空，热模式之间转换，放大倍数范围宽，从5X到300000X，而且样品室空间和观察视野大，对样品观察以从宏观到纳米尺度，装置所搭载的能谱分析仪EDS将所测信号通过计算机系统进行数字化，可以在短时间内
仪器参数
分辩率：3.0nm (Acc V 30Kv,WD 8mm,SEI,HV mode) 4.0nm (Acc V 30Kv,WD 5mm,BEI,LV mode) 加速电压：0―30kV（连续可变） 放大倍数：10X－300,000X 可容许样品尺寸： 10样品座：10 mm （直径） 10 mm （高） 32样品座：32 mm （直径） 10 mm （高）
分享
