检测范围
利用尖锐探针在表面上方扫描来检测样品的一些性质。原子力显微镜具有接触、轻敲等多种工作模式。可在各种环境(真空、大气、控温等)下工作,适用多种样品对象,能够进行原子级成像与操纵。
仪器参数
扫描部分:(1)横向扫描范围: Lateral scan sizes: 100 微米 ( 大探头 ) 、 10微米( 小探头 ) 100 mm (L), 10 m m(S) 纵向扫描范围:6 微米 ( 大探头 ) 、 0.7 微米 ( 小探头 )。(2)噪音水平:垂直方向少于1nm RMS,水平方向少于1nm RMS;(3)分辩率:X-Y方向低于0.5 nm;Z方向低于0.3 nm。控制部分: 智能化全驱动针尖逼近,带有漂移追踪系统;闭环回路控制扫描头;高性能数字信号处理器