6英寸纳米压印设备(6” Nanoimprint machine)
武汉大学
欧博卡科技有限公司,Eitre 6
湖北省
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检测范围

配有紫外光源和加热加压设备,可进行高温高压和紫外曝光功能,可实现大面积纳米图案的快速复制。

仪器参数

1.压印面积直径最大可到150mm;
2. 气体加压,最大压力可达70bar;
3. 可同时进行加热和紫外光照。加热温度最高可达200℃;紫外光源功率35 mW/ cm2 ;
4. 可用软模板转印。
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