激光干涉仪(2)(Renishaw XL80)
沈机集团昆明机床股份有限公司
雷尼绍,1001-445
云南省
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检测范围

几何精度、定位精度测量

仪器参数

"XL80激光头组件、光学镜组、三脚架、温度传感器、激光稳频精度为1年内±0.05 ppm,1小时内 ±0.02ppm。读数以50 kHZ频率读取,最高线性测量速度可达
4 m/s,即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm。"

仪器特色&服务特色

企业内部精度交验、误差补偿
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