扫描电子显微镜(SEM)
煤与煤层气共采国家重点实验室
德国卡尔蔡司公司,EVO MA15
山西省
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检测范围

用于显微观察样品的表面形态。

仪器参数

放大倍数范围:5x 到 1000000x
加速电压范围:0.2 到 30 kV
探针电流范围:0.5 pA 到 5 μA,连续可变
重复性:≤ 2 μm
最小步长:90 nm
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