检测范围
不仅可以覆盖传统的无机元素分析技术，如CIPAES、CFAAS等的工作范围，可进行定性、半定量、定量分析，还可以进行同位素比测定，以及与不同的进样技术（如激光熔蚀）及分离技术（如HPLC，HPCE，GC）联用进行元素的形态、分布特性等的分析。ICP―MS已广泛应用于环境、半导体、
仪器参数
(1) 常规分析灵敏度: Li(7): > 30 Mcps/ppm；Y(89): > 80 Mcps/ppm； Tl(205): > 40 Mcps/ppm；
(2) 背景 5 x 10-7；高质量端: > 1 x 10-7；
(7) 检测限(3sigma)：低质量数Be(9):
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