离子束刻蚀系统-测试100仪器共享平台

离子束刻蚀系统(Ion beam lithography)
所在单位：	兰州大学
品牌/型号：	北京埃德万斯离子束技术研究所，LKJ-150
所在地区：	甘肃省
仪器说明：	我们目前尚未与兰州大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

所有仪器

主要用于薄膜类样品的图形离子束刻蚀

离子束能量可调范围0-1KeV;有效束径≥100mm；极限压强≤8.5×10-5Pa

面向物理学院，兰州大学，社会其他大专院校，科研院所开放测试。参与了多项国家基金，重大基金的科研工作.

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