检测范围
1、颗粒形貌观察；
2、材料断口分析。
仪器参数
1 .放大倍数：5倍---30万倍可调。
2. 加速电压: 0.3KV—30KV可调。
3.真空系统：控制方式全自动，机械泵+涡轮分子泵，无需冷却循环水。机械泵抽气量不小于135L/Min.涡轮分子泵抽气量不小于210L/Sec；有高真空与低真空模式，低真空：6 –270 Pa。
4. 样品仓: 5轴自动马达, 样品最大直径200 mm,样品最大高度88 mm.。
5. 样品定位功能： SE误差 不低于3.0nm，BSE误差 不低于4.0nm。
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