扫描电子显微镜-测试100仪器共享平台

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扫描电子显微镜(Scanning Electronic Microscopy)
所在单位：	兰州大学
品牌/型号：	日本电子株式会社，JSM-6610
所在地区：	甘肃省
仪器说明：	我们目前尚未与兰州大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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该扫描电镜经改装与图形发生器、束闸控制器和特制样品台配合使用可完成电子束曝光功能，用于器件样品的微纳米加工

图像分辨率3nm；电子束曝光分辨率100nm；场际拼接精度150nm；套刻精度150nm

面向全国各科研院所开放共享，参与了本学院相关国家基金项目的科研工作

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