磁控与离子束复合溅射沉积系统-测试100仪器共享平台

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磁控与离子束复合溅射沉积系统
所在单位：	中北大学
品牌/型号：	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，FJL-560a
所在地区：	山西省
仪器说明：	我们目前尚未与中北大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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可用于开发纳米级的单层/多层功能膜—各种硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等。镀膜方式有直流直位、射频直位溅射镀膜，多靶位直流共溅镀膜，以及离子束沉积镀膜。

极限真空度：≤6.67x10-6Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7Pa.l/S；
系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4Pa；
停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa

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