我的订单 会员中心 常见问题 意见反馈 服务商入口

提交需求
首页 > 所有仪器> 加工工艺实验设备 > 光刻机
联系平台客服
分享
光刻机
中北大学
EVG，EVG-610TB
山西省
我们目前尚未与中北大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过 点击此处 提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：

检测范围

功能：用于微结构的光刻工艺，键合前的对位。

仪器参数

1双面对准
正面对准精度：1.0um；0.5um (R&D)
基片找平方式：自动找平
2可后续升级用于键合机之键合对位对准,并与对应之键合夹具兼容
3. 分辨率：0.8微米（真空接触）
4. UV光源：350W或以上汞灯，恒光强、恒功率控制
5. 曝光光路：350-450nm波长曝光
6. 顶部对准显微镜
7.双视场光学显微镜
8.配备一套5X，10X物镜，其中5X物镜上、下对位可以通用
猜您需要 查看更多>>
如果找不到合适的仪器，您可以提交您的需求，由我们帮您匹配最优的服务商 提交需求