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扫描电镜微纳操纵定位测量系统
中北大学
瑞士FemtoTools，Phenom pure FT-RS1000
山西省
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检测范围

该系统分为扫描电镜和微纳操纵定位测量系统两个组成部分，该设备可利用微纳探针或微纳钳夹对于样品进行力学性质测试或者进行微纳尺度的操纵，并在扫描电镜环境下观测操纵结果和形貌参数。

仪器参数

维纳操纵系统FT-RS1000
微钳子开口范围：0-100μm，微力测量范围±100mN,分辩率5uN；
扫描电镜Phenom pure
放大倍数20X～28,000X,电镜分辨率30nm，成像时间30s，电镜准备时间13小时
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