检测范围
在开展新原理、新材料特种微纳传感器件的研制工作中，薄膜材料的淀积对于器件性能起着决定性的影响。因此，建立微纳机电薄膜材料淀积系统，完成可靠复合薄膜淀积是十分重要且必要的。而本次采购的等离子体增强化学气相沉积系统集成多种常见薄膜材料的淀积，如SiO2，SiN，SiC
仪器参数
SI500D突出优点是采用平板三螺旋天线PTSA电感耦合等离子体ICP源和背部有氧气冷却系统的下电极，最大样片直径8吋。ICPECVD感应耦合等离子增强化学气相沉积系统SI500D满足高端工艺要求，适用于器材的生产和研发应用。SI500D在基于硅烷的沉积工艺中具有出色的性能。
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