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微米纳米工艺洁净室特气系统
中北大学
上海正帆科技有限公司，无
山西省
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检测范围

为洁净室的半导体加工设备，如ICP、氧化扩散炉、PECVD、磁控溅射仪、纳米团簇、光刻机、晶圆键合机等提供气体需求。

仪器参数

洁净室特气系统主要包括特气供气设备（气瓶柜、气瓶架、分流箱和分流盘）、特气监控系统（气体检测器、气体监控控制箱、声光报警、紧急开关、电脑工作站）、特气输送管道和尾气处理系统（加热水洗式尾气处理器）等部分
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