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电子束光刻系统
中北大学
Raith Gmbh，Elphy Plus
山西省
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低温探针台

检测范围

电子束光刻系统，又称图形发生器，作为扫描电子显微镜的附件增加到系统中，进行图形设计、绘制、数据转换，然后控制扫描电子显微镜中的电子束进行电子束光刻，在光刻胶上曝光出微纳米结构。 电子束光刻系统主要用于微纳米结构的加工制作，广泛应用于物理、电子工程、光学

仪器参数

1.最小特征尺寸≤10nm，适合4”及以下样品
2.具备沉积、刻蚀、探针、EDX、固定束移动工作台（长路径零拼接快速曝光模式），纳米操纵等功能
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