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扫描电镜束闸
所在单位：	中北大学
品牌/型号：	德国卡尔蔡司，Beam blanker
所在地区：	山西省
仪器说明：	我们目前尚未与中北大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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扫描电镜束闸的主要功能是扫描电镜电子束曝光过程中，对电子束进行有效的、快速的切断，减小残余电压，提高电子束光刻精度。该产品为扫描电镜升级电子束光刻系统的配件设备，具有设备对应性、专一性。

能够在电子束曝光过程中快速、有效地控制电子束的通断，通断频率为200kHz。

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