白光干涉仪
湖南大学
ZYGO公司,NewView7100
湖南省
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检测范围

各种面的形貌,包括粗糙度,平面度,倾斜度和台阶高度。

仪器参数

测量范围可以从小于1nm至20000μm,0.1nm的纵向分辨率

仪器特色&服务特色

支撑科研
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