氦离子显微镜(*)
南京理工大学
ZEISS,ORION
江苏省
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物理测试

检测范围

纳米加工及成像

仪器参数

0.5nm分辨率

仪器特色&服务特色

高分辨扫描图像,无镀膜非导电样品成像,纳米加工透射电镜试样、原子探针试样,氦离子注入及辐照损伤研究
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