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电子束曝光系统(Electron-beam lithography System)
湖南大学
Raith Nanofabrication，RAITH150-TWO
湖南省
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检测范围

设备可实现高分辨电子束曝光,采用肖特基热场发射电子束源

仪器参数

最小特征尺寸

仪器特色&服务特色

Yiqin Chen et al. Nano Letters, 2016
Zhengmei Yang et al. Advanced Optical Materials, 2016
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