检测范围
用于固体物质高分辨的形貌，形态图像、形貌分析（表面几何形态、形状、尺寸）等；
2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析；
3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构（原子在晶体中的排列方式），晶体取向分布分析，
仪器参数
1、 电子光学工作模式有：分辨率、景深、视野、大视野、摇摆电子束
2、 高真空下的分辨率（二次电子）：30kV下1.2nm,3kV下2.5nm
3、 放大倍数：2x—1,000,000x
4、 加速电压：200V至30kV
5、 探针电流：2pA至200nA
仪器特色&服务特色
服务于特种玻璃国家重点实验室
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