场发射扫描电子显微镜(Field Emission Scanning Electron Microscope)
桂林理工大学
卡尔蔡司显微镜有限公司,ΣIGMA
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检测范围

材料的微观形貌、组织观察,材料断口分析和失效分析,微区元素定量、定性成分分析,晶体、晶粒的相鉴定,晶体、晶粒取向测量。

仪器参数

1.二次电子分辨率:1.3nm(20kv);2.放大倍数:12-1000000X;3.放大倍率误差:±3%以内;4.探针电流:4pA-20nA(4pA-40nA可选);5.加速电压:0.1-30kv;6.能谱仪分辨率:优于127eV。
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