检测范围
用于表面原位实时成像，表面原子级成像和形貌分析，分子束外延生长，光电子显微分析。
仪器参数
落地式高强度测试仪主体：多通道信号调节器；垂直轴运动定位控制系统：最大行程1５0mm，分辨率0.5μm，速度0.002-10mm/s；提供伺服控制精确加载,可编程控制；提供在线磨损深度监控，精度5μm。“X-Y” 下试样定位控制及往复运动系统（带编码器自动控制）用于集成在线拉曼光谱仪／三维光学形貌仪装置：最大行程：250mm；编码器分辨率：0.5 Micron；速度：0.001-10mm/s，提供精确定位及XY方向位移及往复运动。
仪器特色&服务特色
支撑国家自然科学基金面上项目，支撑中央高校基本科研业务费专项资金项目，为中航工业沈阳发动机设计研究所项目: “航空发动机附件机匣传动系统异常磨损问题研究”提供检测技术支持
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