检测范围
任何需要大尺寸、精确计量手段的行业和研究课题组，如①机器人校准、大型工装夹具；②机床精度检测、零件检测以及逆向工程等。主要用于科研项目，也可根据需要服务教学。
仪器参数
1.真空系统： 抽到极限真空后，关机12小时，腔室真空度优于10Pa
2.阳极层离子源：放电电流0.2-5A，束斑有效区域大于400mm
3.磁控溅射靶： 400mm X 100 mm， 共计4套
4.工件转架：6工位设计，0-15转/分，直流叠加脉冲偏压电源，频率40kHz
5.加热系统：11根管式加热管，最大加热功率8kW，最高加热温度500度
6. 电源和控制系统采用控制柜集中控制方式，标准机柜，全手动控制
仪器特色&服务特色
支持科研项目2项，本科生SRTP和国创项目4项；指导本科生毕业设计7项，发表论文3篇。
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