原子层沉积系统-测试100仪器共享平台

原子层沉积系统
所在单位：	武汉理工大学
品牌/型号：	美国 Ultratech，Savannah S100
所在地区：	湖北省
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对器件中所需介电薄膜和功能薄膜，实现精确的超薄沉积，可实现原子层的沉积

五氧化二钒、三氧化二铝、二氧化铪薄膜沉积，厚度可达数十纳米

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