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场发射扫描电镜
运城学院
日立公司，S-4800
山西省
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检测范围

可对试样进行表面形貌观察分析，已广泛应用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、电子、半导体、食品、生命科学等科研和工程领域。

仪器参数

二次电子分辨率：1.0 nm （15 kv，WD = 4 mm )
1.4 nm  (1 kv，WD = 1.5 mm ，减速模式）
2.0 nm  （1kv，WD = 1.5 mm，普通模式）
电子枪：冷场发射电子源
加速电压：0.5 kv - 30 kv
放大倍率：20倍 – 800,000 倍
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