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Gatan 691离子减薄仪(GATAN-691 Ionic Reduced Imager)
哈尔滨理工大学
美国Gatan公司，691
黑龙江省
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检测范围

利用高能氩离子减薄预处理样品，应用于半导体、陶瓷、金属等样品制备

仪器参数

技术参数
【入射角度】﹣10°~+10°
【离子束能量】0.1~6 KeV
【样品旋转】1~6 rpm
【温度范围】-175℃~20℃
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