Gatan精密刻蚀镀膜仪(Gatan precision etching coating system)
哈尔滨理工大学
美国Gatan公司,Gatan 682
黑龙江省
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检测范围

精密刻蚀 精密镀膜,主要用于SEM、TEM、EPMA、EBSD样品的制备和前置处理。

仪器参数

分辨率: 0.1 nm
镀膜速度: 0.01 nm/sec.
样品尺寸: ≤2 inch(5 cm)
镀膜速度: 0.01 nm/sec.
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