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微系统测试分析仪
中北大学
Polytec公司，MSA-400
山西省
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检测范围

PSV多普勒测振；PMA频闪测面内运动；白光干涉测三维轮廓

仪器参数

1．PSV多普勒测振（激光束直径：-0.7um；扫描分辨率：512×512点；扫描范围：180um×134um）2．PMA频闪测面内运动（频率范围：0.001Hz到2MHz；频闪曝光时间：100ns；最大频闪分散：±40ns）３．白光干涉测三维轮廓（测量深度范围：250um；像素分辨率：5-60um；Z向分辨率：0.1nm）
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