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激光干涉仪
北华航天工业学院
英国雷尼绍公司，Laser XL-80
河北省
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检测范围

（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。 （2）位置精度的检测及其自动补偿.

仪器参数

系统精度:±0.5ppm (0~40 ℃整个工作环境范围)   激光稳频精度:±0.05ppm   分辨率:0.001 um   最大测量速度:4.0m/SEC  最高采样频率:50KHz   测量范围:0 - 80 metres   预热时间更短:~6分钟
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