检测范围
高分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米 3D成像，高精度测量，Z轴最小读数精度0.01微米。
仪器参数
物镜组： MPLAPO100X408 NA=0.95, WD=0.35mm MPLAPO50X NA=0.8, WD=1.0mm MPLFLN20X NA=0.46, WD=3.0mm MPLFLN10X NA=0.30, WD=6.5mm MPLFLN5X NA=0.15, WD=20.0mm Z轴最小分辨率：0.001μm Z轴最小移动分辨率：0.01μm(刻度精度为0.005μm)
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