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磁控溅射仪
河北工业大学
中国科学院沈阳科学仪器，KPS450
天津市
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仪器参数

总功率： 380V ， 8KW，冷却水：水压 1～2公斤/平方厘米，流量：≈0.6立方米/小时，总功率： 380V ， 8KW，冷却水：水压 1～2公斤/平方厘米，流量：≈0.6立方米/小时

仪器特色&服务特色

为校内外师生提供测试服务
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