检测范围
1、测量并检验光束线机械部件的直线与角等线性位移量的精度、分辨率和重复精度； 2、测量并检验光束线机械部件的直线度、平行度等形状和定向公差；
仪器参数
1、直线位移测量： 测量范围：0～40米 测量精度：±1.5ppm(20°±0.5°)；±1.7ppm（ 15～25°）；±3.0ppm（ 0～40°） 分辨率：10nm（标准值）；1nm（均值） 最高测量速度：±0.7m/s 2、角位移测量： 测量范围：±10°（绕光学基准旋转）； 测量精度：±0.2%测量值； 3、平面度测量 测量范围：0～15m 测量精度：±0.2%测量值
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