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有机金属化合物/氢化物气相外延系统
河北工业大学
中国科学院沈阳科学仪器研制中心，MOCUD/HUPE
天津市
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检测范围

制备厚膜材料

仪器参数

功率：30KW；温度：1200度

仪器特色&服务特色

为校内外师生提供测试服务
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