激光干涉仪
天津商业大学
亚奥博迅(天津)科技发展有限公司,XL-80
天津市
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检测范围

以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。

仪器参数

被测物体最大速度16m/s;
无干扰误差时的分辨率2.5nm(使用平面干涉镜时的误差为1.25nm);
无加速度限制;
当光线微弱时,性能也十分稳定;
信号延时
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