非平衡磁控溅射镀膜系统(Unbalanced Magnetron Sputtering System)
西安交通大学青岛研究院
英国锑尔镀层有限公司,UDP850/4
山东省
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检测范围

复合镀层具有硬度高,摩擦系数低,耐磨寿命高,抗腐蚀性好,高温稳定性好等特点,同时对多种材质均有良好的抗粘结和防咬合性能。通过采用此表面工程技术在机械零件、刀具、模具等产品表面制备一层或多层复合镀层,可极大提高产品的使用寿命和生产效率。可实现160℃以下的低温

仪器参数

英国独家专利封闭磁场非平衡磁控源;
最新成分控制系统(New OEM),Ar/N2比完全动态可调;
可加工薄膜厚度范围:500nm~10μm;
薄膜厚度加工精度:±5
可实现160℃以下的低温沉积;
φ700×1000;极限压力:3×10-9 mbar。

仪器特色&服务特色

燃油喷射系统、缝纫部件、轴承、活塞环、镜面模具,粉末冶金模具、塑料成型模具。
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