检测范围
做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
仪器参数
1 电子光学系统
1.1 分辨率：
1.1.1 高真空模式：
二次电子（SE）像：15 kV时1.0 nm (工作距离必须 ? 4mm)
二次电子（SE）像：1 k V时1.4 nm (不采用减速模式情况下)
背散射电子像：100v时3.5nm
1.1.2 低真空模式：10 kV时1.5 nm；3 kV时1.8 nm
1.2 放大倍率范围不低于：50 ～ 900,000倍，据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。
2 样平台
连续旋转：R=360?；倾斜角T：范围不小于－15o～70o；重复精度
仪器特色&服务特色
昆明理工大学、云南师范大学、昆明医科大学
分享
