检测范围
扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射，从而产生样品表面放大的形貌像。它可用于化学、物理、地质、材料、生物、医学等各个领域，实现固体样品的
仪器参数
分辨率：高真空：1.0nm（15kV），1.4nm（1kV）
低真空：1.8nm（3kV，采用Helix探头）
聚焦范围：模式I为1mm~60mm，模式Ⅱ为1mm~7mm（1kV）
加速电压：50V~30kV，连续可调
电子束流：可达200nA
放大倍数：100~600000
倾斜角度：-15°~75°
样品台移动范围：X=Y=110mm，Z=25mm
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