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形状测量激光显微系统(无)
合肥学院
基恩士，VK-X100K
安徽省
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检测范围

轮廓、粗糙度、三维形貌、光学显微镜

仪器参数

"X/Y方向测量时，图像显示分辨率不低于0.005 um，重复精度（3δ）小于等于0.03um。
Z向测量时，显示分辨率不低于0.005 um，重复精度（δ）小于等于0.02um。
"
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