扫描探针显微镜
山东大学
Bruker,Dimension ICON智能自动进针方式
山东省
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检测范围

1)功能与范围:2)接触式原子力模式(Contact AFM);3)情敲模式(Tapping Mode);4)*智能扫描模式(Scan Asyst);5)*抬高模式(LiftMode);6)*力曲线及力谱线;7)*扭矩共振模式(TR-Mode ,Tapping-TR);8)高次谐波共振模式(Harmonic模式);9)*液体环境的接触模

仪器参数

1)*XYZ三轴闭环扫描器,XY方向90微米,Z方向10微米,要求可实现原子像测试要求;2)*Z方向噪声水平开环控制
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