检测范围
仪器主要应用领域和提供服务范围：半导体晶片 ，液晶产品（CS,LGP,BIU），微机电系统，光纤产品，数据存储盘（HDD,DVD,CD），材料研究，精密加工表面，生物医学工程
仪器参数
精度: 优于λ/100峰谷值;仪器精度: λ/1000均方根值;峰谷值重复性: λ/300;均方根值重复性: λ/2000;空间取样分辨率: 640x480像素(6倍放大时,17mm通光孔径);分辨率: λ/12000;数据采集时间: 高分辨率200ms(10幅图像)数据模式: 8位；平均模式: 光强平均及相位平均；光强平均采集速率: 高分辨率每次测量1.333秒；测量技术:干涉相位调制+相位分析算法
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