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表面形态分析系统
山东大学
美国Corning Tropel，FM100wafer
山东省
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表面动态分析系统采用非接触光学测量技术，能在很短的时间内记录整个表面的数据，从而能快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行测量。现重点实验室承担大尺度SiC单晶的研制，衬底加工要求精度高，平整度和厚度偏差需小于5um。使用该设备可以有效地监

仪器参数

精确度：50nm（2.0μ″）；重复性：15nm（0.6μ″）（1sigma）；解析度：5nm（0.2μ″）；动态测量范围：＞100um；测量时间：通常每一次测量5秒；测量数据：最小二乘方
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