电子扫描显微镜(含电子束刻蚀系统)(无)
同济大学
FEI和J.Nabity,FEI Nova 450,NPGS V9.0
上海市
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检测范围

功能:表面形貌观察 应用范围: 物理科学或材料科学。

仪器参数

真空系统        干泵,分子泵抽速>220l/s,真空度
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