检测范围
在X,Y,Z三个方向上分别利用聚焦飞秒激光束进行热加工，完成CAD制图图样，本系统带由图像设计软件和激光加工在线监测系统，可以在电脑屏幕上观察加工过程，并对加工样品进行显微测量
仪器参数
A. 行程：XYZ=50*50*25mm B. 位移精度：0.1um C. 全行程准确度：±1um D. 最大速度：50mm/s E. 最大载荷：3kg F. 重复精度：±0.75um G. XYZ垂直性：5 arc sec H. 位置稳定性：±0.1um I. 集成样品架：是
仪器特色&服务特色
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